プラズマ質問箱

お世話になります。
計算領域が、2000mm, 500mm, 600mmで、
プラズマ密度が10^(10)-10^(12) /cm3で
シミュレーションできる、先生もしくはソフトウェアをご紹介していただけないでしょうか？

反応性プラズマ/プロセス・装置のシミュレーションは非常に重要になっており、デバイスや装置メーカーなどでは、個々に、かなり優れたものを開発している。一般的には、対象とするプロセスにも依存するが、世界を先導しながら多様なプロセスに利用できるシミュレーションの開発に関しては、大学が推進すべきである。そのためには、信頼性の高い基礎反応データの体系的な集積が必要である。低温プラズマ科学研究センターでも多様な観点からプロセスを予測できるシミュレーションの開発を進めようとしている。現状のシミュレーションに対する企業や大学のポテンシャルについては、是非ともお越しいただいて情報報交換させていただきたい。