プラズマ質問箱

超電導量子回路や量子コンピュータのプラズマプロセスとはどういうものがあるのでしょうか。また、今後必要になる課題などございましたら教えてください。

量子コンピュータの候補の1つにAl/AlOx/Alのジョセフソン接合を用いた量子ビット回路がありますが、課題は材料の成膜やエッチングのプロセス時に生じるダメージだと思います。量子ビット回路だと通常の半導体回路では問題とならなかった誘電体膜の欠陥密度でさえ問題になり、より低損傷のプロセスが求めれることが予想されます。化学反応主体の低ダメージのエッチング技術が必要になるでしょう。