プラズマ質問箱

以前、サタデーモーニングプラズマ講座で白谷先生のプラズマCVDについてのご講演がありましたが、最近の国際的トレンドや最近の研究成果を教えていただけないでしょうか。

プラズマCVDで発表されている年間の論文件数は2010年頃にピークを迎えてから，ほぼ横這いで年間1000本近くの論文が発表されています。材料で分類すると研究当初からトップを走っているシリコン系が一番多く、ほぼ同数のカーボン材料の報告があります。この2つの材料は昔から研究対象として挙げられていますが、アプリケーションや構造が変化しており，シリコンでいうと量子ドットデバイスに推移したり、カーボン材料だとグラフェンといった2Ｄ材料の研究が盛んになっています。グラフェンやh-BNやMoS2といった2DのCVDの論文が増加しており，いかに大面積にダメージの少ない2D材料を成膜するかといったところに注目が集まっているように思います。また，制御性が高い成膜をということで、原子層デポジションALDも注目を浴びているプロセスとなります。