No.002
どうするプラズマ ～これからの半導体プロセス～ 更新日：2025年6月16日
教育
その他
-
講師名
石川 健治
-
所属
名古屋大学低温プラズマ科学研究センター
-
形式
動画
概要
世の中 安定な時もあれば，今はコロナで激動の時代なのかもしれない．いろいろなことが変わる状態は非平衡にも見られる．半導体，言葉の通り，電気を流すのか，流さないのか，機能をもつ材料は不安定で繊細である．プラズマをつかったプロセスは非平衡な状態から，機能を得るのに不可欠である．科学が進めば，革新が生み出される工学となってくる．
※本動画はプラズマソサエティが運営する先進半導体プラズマプロセスコンソーシアム（CASPP）の第2回講座（2022年11月）について、講師の承諾の元に特別に公開するものです。
00:00:42 プラズマを使った半導体製造
00:04:21 半導体の中：電荷と電流
00:07:54 安定と不安定、平衡と非平衡
00:10:44 プラズマ放電
00:12:14 プラズマの中のコト
00:15:22 励起状態の緩和における反応
00:19:03 小まとめ
00:21:49 プラズマ製膜
00:22:46 プラズマが実現したこと
00:27:40 半導体が汎用品に
00:29:43 プラズマ製膜の開発
00:32:43 プラズマの科学的診断と制御
00:34:06 パシベーション、類似性
00:37:46 大気圧プラズマの展開
00:42:41 小まとめ
00:43:24 どうするプラズマ
