どうするプラズマ
～これからの半導体プロセス～

講師

世の中　安定な時もあれば，今はコロナで激動の時代なのかもしれない．
いろいろなことが変わる状態は非平衡にも見られる．半導体，言葉の通り，
電気を流すのか，流さないのか，機能をもつ材料は不安定で繊細である．
プラズマをつかったプロセスは非平衡な状態から，機能を得るのに不可欠
である．科学が進めば，革新が生み出される工学となってくる．

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