エッチング用プラズマ源の変遷
～過去を紐解き未来に繋げる～

講師

半導体デバイス製造にプラズマプロセスが大きな役割を果たすように
なってから、はや三十数年。リソグラフィー技術とプラズマプロセス
技術が両輪となり、デバイス微細化の進展を今もなお強力に牽引して
いる。本講義ではこれまでのエッチング装置技術、プラズマ制御技術
の変遷を解説するとともに、最新の学会での報告を何例か紹介する。

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