今（も）そこにある危機！

講師

当社は１９８５年「一点の曇りなく」を合言葉に超高真空開発に乗り出しましたが，
実際にはプラズマプロセスによる反応生成物に苦しめられ「土砂降りの雨の中」
状態のプラズマとの戦いに明け暮れました．果ては「土石流」とまで揶揄された
CMPに参入し，ここでも「プラズマプロセスか研磨か」の競争に突入，当社の一生は
正にプラズマとの戦いでした．そのプラズマ戦記の一旦をご紹介し，更に微細化の
歴史の中で「今“も”そこにある危機」を提起致します．そして「半導体は人間の欲求
ある限り永遠に不滅です（学の原理原則）」を常に伝え続けた私からの願いをお届けします．

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