名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター プラズマソサエティ

サタデーモーニング講座

サタデーモーニング講座

終了

教科書に無いプラズマCVDの話

日時

8月13日(土) 09:00~10:00

終了

会場

オンライン(Microsoft Teams)

概要

講師

白谷 正治

九州大学

モデレータ

堀 勝

cLPS

集積回路の多層化,トランジスタ構造の3次元化,成膜温度の低温化などプラズマCVDの進化が益々必要とされている.

さらなる進化には基本を見直すことが重要と考え,プラズマCVDの基礎,特に,その全体像・表面反応・ダスト生成など

について最初に概説する.次に,再現性向上に資すると思われるトピックスをいくつか紹介する.

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