教科書に無いプラズマＣＶＤの話

講師

集積回路の多層化，トランジスタ構造の3次元化，成膜温度の低温化などプラズマCVDの進化が益々必要とされている．

さらなる進化には基本を見直すことが重要と考え，プラズマCVDの基礎，特に，その全体像・表面反応・ダスト生成など

について最初に概説する．次に，再現性向上に資すると思われるトピックスをいくつか紹介する．

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レポート作成：堤 隆嘉（名古屋大学低温プラズマ科学研究センター）