どうかわるプラズマエッチング？　これまでの３０年これからの３０年

プラズマエッチング技術は半導体の微細化に大きく貢献してきた。半導体とそのエッチング技術の最近の動向及びこの30年を振り返り、エッチング技術がこの先どうかわっていくか考えてみた。

さらに技術課題の解決には、その観察と基礎的な科学をベースに本質を見通しよく捉えることが重要である旨、経験を基に紹介する。

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レポート作成：堤　隆嘉 （名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター）