半導体デバイスプロセスと電子顕微鏡原子スケール解析 ～先進ナノ解析による半導体産業への貢献～

先進Siデバイス開発における、透過電子顕微鏡法活用の可能性について、応用例の紹介を中心にお話しします。また、最近の電子顕微鏡技術と、その応用の可能性についてもお話しします。“高分解能観察“や”原子分解能観察”が、何を見ているのかについても直感的にお話しする予定です。今後、電顕も試してみよう、と思って頂くきっかけになると幸いです。

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レポート作成：堤　隆嘉 （名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター）