高アスペクト比エッチングプラズマにおけるイオン挙動

アスペクト比100をこえるようなエッチングの実現には高い指向性をもつイオンの入射が必要ですが，イオンの振る舞いについては必ずしも多くの知見が得られているわけではありません．講演では，（１）入射するイオンの組成，（２）入射するイオンの角度分布，（３）ホールへの正電荷チャージング，という３つの視点から，我々が進めている実験的な挙動解析の取り組みをご紹介します．

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レポート作成： 堤　隆嘉（名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター）