サタデーモーニング講座
サタデーモーニング講座
第３土曜日の開催です！
「ASET＠2000
産官学連携による絶縁膜エッチングの基礎研究を振返り将来に向けてのプラズマ研究を考える」
日時
1月20日（土） 09:00～10:00 （8:45 Open）
概要
辰巳 哲也
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 /東京工業大学/応用物理学会フェロー
モデレータ
長谷川 功宏
名古屋大学低温プラズマ科学研究センター
