第３土曜日の開催です！
「ASET＠2000
　産官学連携による絶縁膜エッチングの基礎研究を振返り将来に向けてのプラズマ研究を考える」

日時

1月20日（土）　09:00～10:00　（8:45 Open）

終了

概要

辰巳哲也

ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 /東京工業大学/応用物理学会フェロー

モデレータ

長谷川功宏

名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

本講演では90年代後半にプラズマプロセスに”サイエンスの背骨”を入れるべく活動を行った産官学連携のコンソーシアムASETにおける絶縁膜加工に関する基礎研究を振り返り、当時の報告資料をベースに議論の進め方やその後の発展について触れ、さらに今後のプロセス開発に求められることについて議論します。．

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レポート作成：堤　隆嘉（名古屋大学低温プラズマ科学研究センター）