イノベーションが生まれる時　～高密度プラズマ，チャージングダメージ，日本のドライエッチング技術が世界をリードした1980～1990 年代，そして今，産学連携のあるべき姿～

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レポート作成： 堤　隆嘉（名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター）