プラズマプロセスにおける欠陥形成（プラズマ誘起ダメージ）：その本質と最適化に向けて

プラズマプロセス中には，想定外の局所構造（欠陥）が形成される．それら欠陥は，例えば電子デバイスの性能を劣化させる．電子デバイスの微細化に伴い，この相互作用（プラズマ誘起ダメージ）が顕在化し精力的に研究されてきた．本講演では，研究の歴史と最近の事例を交えながらプラズマ誘起ダメージ対策の指針を述べる．

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レポート作成： 堤　隆嘉（名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター）