新時代を切り拓く窒化物半導体

再生可能エネルギーによる発電と蓄電システムを中心とした自立型エネルギーシステムの実現には、シリコンを超えるワイドギャップ半導体を用いたパワーデバイスの社会実装が欠かせない。窒化物半導体は、高耐圧性に加え、不純物を用いずに導電性制御可能な分極ドーピングが可能であり、同材料ならではのデバイス設計が必要である。窒化物半導体の将来性と分極ドーピングを用いたデバイスについて紹介する。

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