サタデーモーニング講座
サタデーモーニング講座
半導体製造用EUV光源開発とその応用の現状
Development of EUV Source for Semiconductor Manufacturing and its Application
日時
3月 8日（土） 09:00～10:00 （8:45 Open）
会場
オンライン（Microsoft Teams）
概要
溝口 計
九州大学
モデレータ
豊田 浩孝
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター
