プラズマ情報庫

注目論文

Scientific Reports

がんの早期発見に向けて革新的なCTC/CAF検出ガラスデバイスを開発

血中に存在するCTCやCAFを効率よく検出するガラスデバイスを開発、肺がん患者血液からCTCの検出に成功した。CTCやCAFの捕獲の様子を可視化するシステムを構築、がん細胞を培養することに成功した。

  • バイオ・医療

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ACS Applied Optical Materials

プラズマを半導体材料に照射する技術を用いてランダムレーザー製作に成功

窒化ガリウムにアルゴンプラズマをモリブデンの針金を配置して照射(独自技術)して作製した半導体レーザーによって,高強度の紫外線(365nm)の光を広い空間に照射するランダムレーザーの製作に成功した.

  • 半導体

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Scientific Reports

蒸気プラズマによる金属炭化物のドライエッチングに成功

最先端シリコン半導体デバイスを構成する材料として有望である3元金属炭化物の表面に蒸気プラズマにより変質層を形成して,この材料の揮発除去するドライエッチングに成功した.

  • 半導体

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Journal of the American Chemical Society

非平衡プラズマでCO2転換効率を大幅に向上

プラズマ中のCO2振動励起の電子状態のもつ高い反応性から,CO2とH2混合ガス中のガリウムパラジウム合金触媒(Pd2Ga)で250℃の低温で非平衡にCO2分解反応からCH4転換率100%を達成した.

  • プラズマ生成・計測

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