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注目論文

ACS Applied Optical Materials

プラズマを半導体材料に照射する技術を用いてランダムレーザー製作に成功

窒化ガリウムにアルゴンプラズマをモリブデンの針金を配置して照射（独自技術）して作製した半導体レーザーによって，高強度の紫外線（365nm）の光を広い空間に照射するランダムレーザーの製作に成功した．

Scientific Reports

最先端シリコン半導体デバイスを構成する材料として有望である３元金属炭化物の表面に蒸気プラズマにより変質層を形成して，この材料の揮発除去するドライエッチングに成功した．