プラズマ情報庫

注目論文

Appl. Phys. Lett.

超選択・酸化薄膜形成を実現

リモート誘導結合プラズマ原子層堆積で、チタンイソプロポキシドとテトラキス（ジメチルアミノ）チタンの導入と低出力酸化によって、基板の酸化を抑制、高品質TiOxの形成に成功した。

ACS Applied Optical Materials

窒化ガリウムにアルゴンプラズマをモリブデンの針金を配置して照射（独自技術）して作製した半導体レーザーによって，高強度の紫外線（365nm）の光を広い空間に照射するランダムレーザーの製作に成功した．

Scientific Reports

最先端シリコン半導体デバイスを構成する材料として有望である３元金属炭化物の表面に蒸気プラズマにより変質層を形成して，この材料の揮発除去するドライエッチングに成功した．