編集長
より抜きトピックス

No.004
プラズマ活性溶液が心臓治療へ新たな道を拓いた
- バイオ・医療
西田基宏（自然科学研究機構生理学研究所 / 九州大学・教授）と金子俊郎（東北大学大学院工学研究科・教授）のチームが、プラズマを生理活性濃度のシステインに照射したプラズマ活性溶液＊を投与すること…
No.003
次世代パワーデバイスの量産・標準化を実現するp型層の形成（p-Ga2O3）に成功
- 半導体
名古屋大学低温プラズマ科学研究センターの清水尚博特任教授らの研究グループは、次世代パワー化合物半導体である酸化ガリウム(Ga2O3)において、Ni（ニッケル）をイオン注入した後、プラズマを用いたラ…
No.002
Ptの垂直形状エッチングを達成
- 半導体
長年にわたって不可能と見なされてきた白金（Pt）の垂直パターンに成功・・・メモリデバイス電極など多様な応用に道を拓く！ Thi-Thuy-Nga Nguyen特任准教授等（名古屋大学）は、AGC（株…
No.001
クライオプラズマエッチング・・10年に1度の技術革新その反応機構の解明に成功！
- 半導体

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